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半导体制造行业对精度、速度以及明净度要求出格高。由于空气轴承具有明净度好、一再性好、速度高、大、零摩擦、零摇动与低噪音等特征,因此出格相符用于半导体制造领域。一般空气轴承可能用在晶圆切割、晶片检测、晶片修复、减薄、刻蚀等诸多领域。